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浙江巨化制冷劑R14

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四氟甲烷,亦稱四氟化碳、全氟化碳,PFC-14R-14)。分子式:CF4。相對分子量:88.00。在常溫下,四氟甲烷是無色、無臭、不燃,不溶于水的可壓縮性氣體。沸點:-128,熔點:-183.6。液體密度(-1301.613g/cm3,臨界溫度-45.67,臨界壓力3.74Mpa,蒸氣壓(-150.713.33kPa,介電常數(250.5Mpa1.0006。揮發性較高,是穩定的有機化合物之一,在900攝氏度時,不與鋼、鎳、鎢、鉬反應,僅在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25攝氏度及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時, 會分解產生有毒氟化物,危險性類別為第2.2類不燃氣體。

用途

四氟甲烷是目前微電子工業中用量的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、超低溫制冷劑、泄漏檢驗劑、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。

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